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2024-12-30 -
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产品描述
针对翻转和倾斜应用，BG 系列测角仪支持开放式施加负载。当两个 BG 平移台堆叠在一起时，样品将围绕公共枢转点旋转。 ±45° 横轴旋转，能够尽可能自由接近旋转平台 堆叠托架，可实现围绕同一枢轴点的正交旋转 精密机加工的滚珠轴承座圈，可确保平稳运动和高度稳定性 精密磨光蜗杆传动装置可提供 0.002° MIM 真空兼容版本，最高可达 10-6 hPa
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SR50 和 PR50 紧凑型旋转台经过专门设计，可旋转直径达 1 英寸的光学元件，例如偏振片、波片或劈尖。采用折叠电机设计，外形十分小巧，允许用于有限空间环境中，例如激光腔、光盘纹理机或光纤元件的制造区域。 紧凑、轻薄的旋转台，适用于 1 英寸直径的光学元件 轻量级；折叠电机设计 专有的滚珠轴承，可实现低摆动的平滑运动 高速或高分辨率版本
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ZVR 利用三点驱动和轴承设计，集成了 Z 和 θ 定位，可以精确地升高和旋转晶圆卡盘。 薄型设计，垂直精度达 10 mm，角度行程持续为 360 度 三点式底部接口可以稳定安装到任何 XY 平移台或其他平台 中心孔径大，从而简化了真空和电缆管理 质量轻、固有频率高，从而可用于快速步进应用 不锈钢循环滚珠轴承 即插即用 - ESP 兼容
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